各種真空泵的工作原理
CG-17玻璃三級高真空油擴散�
GG-17玻璃膨脹系數(shù)�,能更好地耐受很高的溫度差�,故該泵比同型泵能受得起高溫而且使用壽命也更�。該泵適用于電子工業(yè),如電子�。顯像管。X光管,以及半�(dǎo)體單晶硅的冶煉提�,高沸點的油脂蒸餾提純分�,日光燈,保溫瓶高真空排氣的儀��
工作原理
先由�(zhuǎn)動真空泵把系�(tǒng)抽到10-2Pa擴散泵油被加熱沸�,以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)�(nèi)氣體分子帶到泵的�(cè)臂彎管球泡處集結(jié),待氣體密度達(dá)到機械真空泵的工作范圍而被抽出,從而逐漸獲得高真��
水環(huán)式真空泵/液環(huán)真空泵工作原�
水環(huán)真空�(簡稱水環(huán)�)是一種粗真空�,它所能獲得的極限真空�2000~4000Pa,串�(lián)大氣噴射器可�(dá)270~670Pa。水�(huán)泵也可用作壓縮機,稱為水�(huán)式壓縮機,是屬于低壓的壓縮機,其壓力范圍�1~2×105Pa表壓��
水環(huán)泵最初用作自吸水�,而后逐漸用于石油、化�、機械、礦�、輕�、醫(yī)藥及食品等許多工�(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引�、真空送料、真空蒸�(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到廣泛的�(yīng)�。由于真空應(yīng)用技�(shù)的飛躍發(fā)�,水�(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水�(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含�、含水的氣體,因�,水�(huán)泵應(yīng)用日益增��
在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)�,水被葉輪拋向四�,由于離心力的作�,水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水�(huán)的下部分�(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相�,水�(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接�(實際上葉片在水環(huán)�(nèi)有一定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小�。如果以葉輪的下�0°為起�,那么葉輪在旋轉(zhuǎn)�180°時小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相�,此時氣體被吸入,當(dāng)吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;�(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)�,小腔由大變�,使氣體被壓�;�(dāng)小腔與排氣口相通時,氣體便被排出泵外�
綜上所�,水�(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實�(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的,因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡�?/p>
羅茨泵的工作原理�
羅茨泵在泵腔�(nèi),有二�“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比�1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋�(zhuǎn)運動。在�(zhuǎn)子之�,轉(zhuǎn)子與泵殼�(nèi)壁之�,保持有一定的間隙,可以實�(xiàn)高轉(zhuǎn)速運�。由于羅茨泵是一種無�(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身�(jié)�(gòu)和制造精度外,還取決于前級泵的極限真�。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用�
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓�(fēng)機相�。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進氣口吸入到�(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0�(nèi),再�(jīng)排氣口排�。由于吸氣后v0空間是全封閉狀�(tài),所�,在泵腔�(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹�
各種真空泵的工作原理
但當(dāng)�(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,v0空間與排氣側(cè)相通時,由于排氣側(cè)氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強突然增高。當(dāng)�(zhuǎn)子繼�(xù)�(zhuǎn)動時,氣體排出泵��
旋片式真空泵工作原理�
旋片式真空泵(簡稱旋片�)是一種油封式機械真空�。其工作壓強范圍�101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨使用,也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地�(yīng)用于冶金、機�、軍工、電�、化工、輕�、石油及�(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門�
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣�,若附有氣鎮(zhèn)裝置,還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高�,對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣��
旋片泵是真空技�(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙�,就是在�(jié)�(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的,以獲得較高的真空��
旋片泵的抽速與入口壓強的關(guān)系規(guī)定如下:在入口壓強為1333Pa�1.33Pa�1.33×10-1(Pa)下,其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%�50%�20%�
旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端�、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子,�(zhuǎn)子外圓與泵腔�(nèi)表面相切(二者有很小的間�),轉(zhuǎn)子槽�(nèi)裝有帶彈簧的二個旋�。旋�(zhuǎn)時,靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接�,轉(zhuǎn)子旋�(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑��
兩個旋片把�(zhuǎn)�、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部�,當(dāng)�(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的空間A 的容積是逐漸增大�,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過�。居中的空間B的容積也是逐漸減小�,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨�),氣體壓強降�,泵的入口處外部氣體壓強大于空間A�(nèi)的壓強,因此將氣體吸�。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時,即轉(zhuǎn)至空間B的位�,氣體開始被壓縮,容積逐漸縮小,最后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強時,排氣閥被壓縮氣體推�,氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運轉(zhuǎn),達(dá)到連續(xù)抽氣的目�。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一�(低真空級),由低真空級抽走,再�(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中,即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負(fù)�(dān),因而提高了極限真空度�
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